PIEZOSYSTEM 壓電反射鏡定位器-測量 

壓電反射鏡定位器 PSH 35 是PIEZOSYSTEM品牌下設(shè)計的一款用于小型反射鏡動態(tài)運(yùn)動的裝置。它具有以下特點(diǎn)：

35 mrad 傾斜范圍：PSH 35 具備較大的傾斜范圍，可以實(shí)現(xiàn)反射鏡在垂直方向上的傾斜運(yùn)動。

高諧振頻率：該設(shè)備具有高諧振頻率，意味著它可以快速響應(yīng)指令并實(shí)現(xiàn)精確的定位運(yùn)動。

微弧度級別分辨率：PSH 35 提供微弧度級別的分辨率，能夠?qū)崿F(xiàn)非常精細(xì)的位置控制。

設(shè)計緊湊：該裝置體積小巧，易于集成到復(fù)雜的平臺中，適用于有限空間或需要高度集成的應(yīng)用場景。

35 mrad 傾斜范圍

高諧振頻率

微弧度級別分辨率

設(shè)計緊湊

壓電反射鏡定位器 PSH 35 是為小型反射鏡的動態(tài)運(yùn)動而開發(fā)的。體積小巧，它可以很容易地集成到更復(fù)雜的平臺中。

在PIEZOSYSTEM品牌中，同一系列的不同型號之間，主要差別在于行程，以及行程不同引起的精度差異 

PZ 250 CAP WL專為直徑達(dá)12英寸的半導(dǎo)體晶片的精確定位而開發(fā)。致動器在Z方向上提供250 μm的運(yùn)動行程。可以

實(shí)現(xiàn)納米級的精度?？梢蚤L期穩(wěn)定地保持特定的位置。由于其高硬度，PZ 250蓋WL可以承載高達(dá)3公斤的負(fù)荷。

運(yùn)動范圍達(dá) 700 微米

高精度、快速響應(yīng)，適用于大質(zhì)量樣品

可適用于動態(tài)應(yīng)用

PIEZOSYSTEM成立于1991年，為半導(dǎo)體、航空航天、顯微鏡和同步加速器行業(yè)提供壓電微定位、壓電納米定位和計

量解決方案。

主營產(chǎn)品有：壓電陶瓷環(huán)、線性促動器、兩軸位移臺、三軸位移臺、五軸位移臺、偏擺臺等

PIEZOSYSTEM  X軸位移臺-測量